Tailoring the ferroelectric properties of ZrO2 ultrathin films by interfacial engineering
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Tailoring the ferroelectric properties of ZrO2 ultrathin films by interfacial engineering
The ferroelectric and antiferroelectric properties of ZrO2 ultrathin films (~12 nm in thickness) prepared by atomic layer deposition (ALD) were tailored by introducing sub-nanometer interfacial layers between the ZrO2 ultrathin film and top and bottom Pt electrodes. In terms of polarization switching ability, the ferroelectricity of ZrO2 ...
2020年5月15日
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