Radial basis function interpolation RBF Applications - 搜索视频

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Advanced CD uniformity correction using radial basis function (RBF) models

Critical dimension uniformity (CDU) control using dose correction is well established and has relied on traditional polynomial models like Zernike and Legendre for a long time. As process margins are shrinking and CD (and CDU) control becomes a significant contributor to edge placement error (EPE), the dose correction models need to be enhanced ...

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